Cerâmica SiC

A cerâmica de SiC é cada vez mais utilizada em equipamentos semicondutores, principalmente por apresentar melhor desempenho em condições mais severas. Quando a temperatura aumenta ou o processo se torna mais agressivo, materiais como quartzo ou silício podem começar a apresentar limitações, e é aí que o SiC entra em cena. Em processos de forno, como oxidação ou difusão, componentes como suportes ou pás para wafers feitos de SiC tendem a durar mais. Eles mantêm sua forma e não geram muita contaminação, mesmo após longos períodos de operação. Por esse motivo, muitas vezes o SiC substitui o quartzo, especialmente quando a manutenção se torna muito frequente.

Para processos de corrosão, o SiC é frequentemente escolhido simplesmente por sua maior resistência ao plasma. A diferença na vida útil em comparação com componentes de silício é perceptível em muitas configurações, embora ainda dependa do processo específico. Ele também auxilia no controle de partículas, que se torna mais sensível à medida que os nós de fabricação diminuem. O SiC também é utilizado como susceptor em MOCVD ou CVD. Nesses casos, a importância não está tanto na "resistência", mas sim na estabilidade do comportamento térmico. Além disso, ele aparece em componentes de câmaras, como revestimentos ou chuveiros, e às vezes também em componentes de manuseio.