Barco de wafer cerâmico de carboneto de silício

O suporte para wafers de cerâmica de carbeto de silício é uma ferramenta de transporte de alto desempenho projetada para a fabricação de semicondutores e processos de energia fotovoltaica. É feito de material cerâmico de carbeto de silício (SiC) de alta pureza, produzido por um avançado processo de sinterização sem prensagem. Possui excelente resistência a altas temperaturas, estabilidade química e resistência mecânica, tornando-se um consumível essencial na transferência de wafers, recozimento em alta temperatura e outros processos de precisão.

1. Estabilidade em ambientes extremos

A estrutura molecular da cerâmica de silício confere-lhe uma estabilidade térmica ultra-elevada, permitindo-lhe manter a integridade estrutural em ambientes de alta temperatura contínua de 1650 °C. Comparado com materiais convencionais como o quartzo ou a alumina, o coeficiente de expansão térmica da cerâmica de silício é muito baixo (apenas 4.5 × 10⁻⁴).^-6/°C), evitando efetivamente deformações ou fissuras causadas por mudanças bruscas de temperatura. Na fabricação de semicondutores, essa propriedade pode reduzir significativamente o desvio de deslocamento do wafer no processo de alta temperatura e melhorar o rendimento.

2. Resistência à corrosão incomparável

As cerâmicas de carbeto de silício apresentam forte resistência a ácidos fortes (como o ácido fluorídrico e o ácido sulfúrico), bases fortes e gases oxidantes (Cl₂, O₂). Mesmo em atmosfera de enxofre ou halogênio a 1400 °C, a superfície permanece lisa e livre de corrosão, garantindo que nenhuma contaminação permaneça na superfície do wafer.

3. Longa vida útil e benefícios econômicos

Graças ao processo exclusivo de tratamento de densificação superficial, a resistência ao desgaste do barco de carbeto de silício é mais de 15 vezes superior à dos materiais tradicionais. Os testes práticos demonstram que, após 1000 ciclos em atmosfera oxidante a 1400 °C, a rugosidade superficial permanece inferior a 0.2 μm (Ra), e o número de ciclos de operação pode ser de 5 a 8 vezes maior do que o de barcos cerâmicos comuns. Isso reduz significativamente a frequência de paradas e substituições do equipamento, resultando em uma economia de custos superior a 30%.

Detalhe rápido:

1. Outros nomes: barco de cristal de carbeto de silício, suporte cerâmico semicondutor.

2. Aplicação: Utilizado em processos de difusão, oxidação e recozimento em altas temperaturas na fabricação de semicondutores para suportar wafers de silício e garantir uma distribuição uniforme de calor.

3. Parâmetros principais: pureza ≥99.99%, resistência máxima à temperatura de 1500℃, baixo coeficiente de expansão térmica (4.5×10-6/℃), forte resistência ao choque térmico.

Tratamento térmico em alta temperatura de wafers semicondutores (oxidação, recozimento, dopagem). 

Revestimento e sinterização de wafers na indústria fotovoltaica.

Estabilidade térmica ultra-alta: resistência a longo prazo a altas temperaturas de 1500°C, sem deformação ou perda de desempenho.

Design de baixa poluição: material de alta pureza + processo não adesivo, evitando a poluição por íons metálicos.

Longa vida útil: excelente resistência ao choque térmico, com vida útil 3 a 5 vezes maior que a de suportes de quartzo.

Personalização flexível: tamanho do suporte, espaçamento entre ranhuras, personalização da profundidade do tratamento da superfície.