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Materiais de embalagem inorgânicos
Abrasivo de polimento CMP
pasta de polimento CMP
Abrasivo de polimento CMP
pasta de polimento CMP

Abrasivo de polimento CMP


Lugar de origem: China
Marca: Semixlab
Número modelo: SXL-1
Certificação: ISO14001, ISO45001, ISO9001
Quantidade mínima: Sujeito a negociação
Preço: Contato para orçamento personalizado
Detalhes da embalagem: pacote padrão da exportação
Tempo de entrega: 15 a 30 dias após a confirmação do pedido.
Condições de pagamento: T / T
Habilidade da fonte: 10 toneladas/mês
Descrição

O abrasivo de polimento CMP (Planarização Químico-Mecânica) é um material fundamental nas áreas de fabricação de semicondutores, vidro óptico, circuitos integrados, etc., e alcança o aplainamento da superfície em nanoescala por meio do efeito sinérgico da corrosão química e do desgaste mecânico.

Aplicação:

Os abrasivos para polimento CMP são materiais-chave cruciais na área de fabricação de circuitos integrados e podem ser usados ​​em camadas interfaciais de circuitos integrados (ILD), wafers de silício monocristalino semicondutores, carbeto de silício semicondutor, isolamento de trincheira rasa (STI) para circuitos integrados, polisilício (Poly-Si) para circuitos integrados, metais para circuitos integrados e camadas de barreira metálica.

Serviços que podem ser fornecidos:

análise de cenários de aplicação do cliente, correspondência de materiais, resolução de problemas técnicos.

Perfil da empresa:

A Semixlab conta com 2 laboratórios, uma equipe de especialistas com 20 anos de experiência em materiais, com capacidades de P&D e produção, testes e verificação.

Especificações

Indicadores de desempenho para produtos da série de ultra-alta pureza

Parâmetro SXL-1 SXL-2 SXL-3 SXL-4 SXL-5 SXL-6 SXL-7
Tamanho médio das partículas de sílica/nm 35 5 ± 45 5 ± 65 5 ± 75 5 ± 85 5 ± 100 5 ± 120 5 ±
Distribuição do tamanho das nanopartículas (PDI) <0.15 <0.15 <0.15 <0.15 <0.15 <0.15 <0.15
PH da solução 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4
Teor de Sólidos/% 20.5 0.5 ± 20.5 0.5 ± 20.5 0.5 ± 20.5 0.5 ± 20.5 0.5 ± 20.5 0.5 ± 20.5 0.5 ±
Aparência Azul claro Azul Branco Off white Off white Off white Off white
Morfologia de Partículas X X: S - Esférico; B - Curvo; P - Em forma de amendoim; T - Bulboso; C - Em forma de cadeia (estado agregado)
Íons estabilizadores Aminas orgânicas/inorgânicas
Composição da matéria-prima Y Y:M-TMOS;E-TEOS;ME-TMOS+TEOS;EM-TEOS+TMOS
Conteúdo de impurezas metálicas ≤300 ppb
Aplicações

Principais campos de aplicação

Direção da aplicação Cenário típico
Fabrico de Semicondutores Circuitos Integrados (CIs) e Materiais Semicondutores de Terceira Geração
Tecnologia de Óptica e Exibição Vidro óptico, lente e painel de exibição
Dispositivos de armazenamento Discos rígidos e memória flash 3D NAND
Embalagem Avançada Embalagem em nível de wafer (WLP), TSV (através de silício)
Outras aplicações de alta gama Sistemas Microeletromecânicos (MEMS) e Implantes Médicos

Endosso de verificação da cadeia ecológica

Os abrasivos de polimento CMP da Semixlab atendem à certificação da indústria de semicondutores e possuem certificação ISO 14001/45001/9001.

Processo típico de aplicação

Matéria-prima → Síntese de abrasivos (modificação de superfície) → Formulação da pasta abrasiva (filtração/ajuste de pH) → Polimento CMP (controle de EPD) → Pós-limpeza → Inspeção (AFM/KLA) → Otimização com feedback de dados

Por meio da otimização dos parâmetros do processo, o abrasivo de polimento CMP da Semixlab alcançou um avanço significativo no campo de circuitos integrados semicondutores de alta tecnologia no mercado nacional, substituindo gradualmente as importações e sendo aplicado com sucesso na produção e fabricação de painéis de LCD, OLED e outros displays. Caso necessite de documentação técnica detalhada ou queira solicitar testes de amostras, entre em contato com nossa equipe de suporte técnico.

Vantagem competitiva

Vantagens do núcleo abrasivo de polimento CMP da Semixlab

a. Diâmetro das partículas e grau de agregação das partículas livremente ajustáveis;

b. Partículas monodispersas com distribuição uniforme de tamanho de partícula;

c. Sistema de dispersão estável;

d. Capacidade de produção em larga escala com variação mínima entre lotes;

e. Altamente estável, resistente à aglomeração e sedimentação.

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