Aquecedor de grafite revestido com SiC para MOCVD

produtos Detalhes

O aquecedor MOCVD de grafite revestido com SiC combina a excelente condutividade térmica da grafite com a alta resistência à temperatura e à corrosão dos revestimentos de SiC, sendo amplamente utilizado em equipamentos de deposição química de vapor metalorgânica (MOCVD) para garantir estabilidade e alta pureza nos processos de crescimento epitaxial de wafers.

Aquecedor MOCVD de grafite revestido com SiC - Características do produto

1. Pureza e estabilidade química ultraelevadas

Pureza ≥99.99995%: Nosso aquecedor de grafite é preparado sob cloração em alta temperatura através do processo CVD, o que evita eficazmente a contaminação por impurezas metálicas e atende à demanda por ambientes ultralimpos na fabricação de semicondutores.

Anticorrosão química: O revestimento de SiC, denso e de alta dureza (dureza Vickers de 2500 a 2800), resiste à erosão causada por ácidos, álcalis, sais e solventes orgânicos, prolongando a vida útil do equipamento em ambientes com gases corrosivos.

2. Excelente resistência a altas temperaturas

Alta estabilidade térmica: suporta até 3000°C em atmosfera inerte, operação estável até 2200°C em ambiente de vácuo e 1600-1700°C em ambiente oxidante, sendo adequado para as condições extremas da câmara de reação MOCVD.

Baixo coeficiente de expansão térmica (4.5 x 10-⁶K-¹): Esta característica do aquecedor de grafite MOCVD reduz eficazmente o aparecimento de fissuras ou desprendimento do revestimento devido a alterações de temperatura, garantindo a integridade estrutural em ciclos térmicos prolongados.

3. Desempenho otimizado de gerenciamento térmico

Alta condutividade térmica (200-300 W/mK): A alta condutividade térmica do aquecedor MOCVD de grafite permite que o produto transfira calor de forma rápida e uniforme, alcançando uma distribuição consistente da temperatura na superfície do wafer (±1°C), melhorando assim a uniformidade da camada epitaxial.

Projeto do Campo de Fluxo de Gás Laminar: Após iterações e aprimoramentos tecnológicos contínuos, a suavidade da superfície (Ra ≤ 0.8 μm) e a otimização geométrica do nosso aquecedor MOCVD garantem a distribuição uniforme dos gases reativos e reduzem a não uniformidade da deposição causada pela turbulência.

Comparação de parâmetros técnicos e vantagens

Por que a Semixlab?

Personalização: A Semixlab está comprometida em fornecer produtos e serviços técnicos personalizados aos nossos clientes. Oferecemos suporte à personalização de tamanhos não padronizados (até 360 mm de diâmetro) e espessuras de revestimento (20-500 μm) para atender a uma ampla gama de necessidades de equipamentos.

Certificação Global: Nosso aquecedor de grafite revestido com SiC está em conformidade com a norma SEMI, possui certificação ISO 9001 e nossos produtos são exportados principalmente para a Europa e os Estados Unidos, bem como para o Japão e a Coreia do Sul, com uma significativa vantagem em termos de custo-benefício.

Sinergia técnica: A Semixlab mantém há muito tempo uma estreita cooperação com as principais instituições de pesquisa da China, utilizando tecnologias de revestimento patenteadas (como o processo SiC³ da CGT Carbon) para otimizar a densidade do revestimento e a resistência ao choque térmico.