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Pastilhas piezoelétricas de PZT
Com o crescimento exponencial das comunicações 5G, da medicina de precisão e dos dispositivos vestíveis inteligentes, a demanda de mercado por transdutores MEMS de alta sensibilidade e baixo consumo de energia está em ascensão. Nossos wafers piezoelétricos (PZT sobre Si/SOI) utilizam processos avançados de deposição de filmes finos para alcançar uniformidade excepcional e propriedades piezoelétricas superiores em substratos de silício, servindo como núcleo fundamental para a conversão eficiente de energia eletromecânica.
Descrição
Personalizado
Além de oferecermos wafers PZT padronizados de 8 polegadas, disponibilizamos amplas possibilidades de personalização, adaptadas às necessidades específicas de nossos clientes:
● Diversidade de substratos: Oferecemos suporte à deposição tanto em wafers de silício quanto em wafers SOI (com resistividade > 5000 ohm/cm).
● Personalização de Filmes Finos: Tipos e espessuras específicos de filmes finos podem ser ajustados para atender às especificações do projeto.
● Tamanhos flexíveis: Oferecemos opções de processamento para formatos de wafer de 6 e 8 polegadas.
● Wafers fornecidos pelo cliente: Aceitamos substratos fornecidos pelo cliente para o crescimento de filmes finos piezoelétricos.
Seu parceiro técnico: Estamos comprometidos em fornecer suporte completo — desde o desenvolvimento de materiais até a personalização estrutural. Seja na fase de P&D em laboratório ou na produção em massa, nossa equipe técnica está pronta para fornecer as soluções piezoelétricas mais adequadas às suas necessidades.
Especificações
Nossos produtos padrão são fabricados utilizando processos de 6 e 8 polegadas, apresentando designs estruturais multicamadas sofisticados que garantem um desempenho estável em fluxos de trabalho complexos de fabricação de MEMS.
Parâmetros da estrutura de camadas (padrão de 8 polegadas)
| Camada | Espessura | Observação |
| Eletrodo Superior | personalizado | Eletrodo superior |
| Camada piezoelétrica | personalizado | Camada piezoelétrica central |
| Camada tampão | personalizado | Camada de controle de orientação de grãos |
| Eletrodo Inferior | 100 nm ± 10% | Eletrodo inferior |
| Camada de adesão | personalizado | Camada de adesão |
| Substrate | personalizado | Opções disponíveis: 4/6/8 polegadas |
Indicadores-chave de desempenho (Características)
● Constante piezoelétrica (d31): 200 pC/N — Garante uma saída de deslocamento mecânico altamente eficiente.
● Coeficiente piezoelétrico (e31): −15 C/m² — Proporciona uma resposta de carga elétrica altamente sensível.
● Alta uniformidade: Verificado por meio de análise de difração de raios X, o filme de PZT exibe uma forte orientação (100), garantindo uma uniformidade de desempenho excepcional em toda a pastilha.
| Características do PZT | PZT policristalino |
| Constante piezoelétrica d31 | 200 pC/N |
| coeficiente piezoelétrico e31 | -14 °C/m² |
| Temperatura curie | X ℃ |
Imagem SEM e difração de raios X
Aplicações
Cinco áreas de aplicação principais
1. Transdutores ultrassônicos piezoelétricos (pMUT)
Aproveitando a alta constante piezoelétrica de filmes finos de PZT para criar matrizes ultrassônicas miniaturizadas de alta frequência. Amplamente aplicadas em reconhecimento de impressões digitais sob a tela, detecção de gestos e sistemas de radar ultrassônico automotivo.
2. Filtros e comunicações de radiofrequência (RF MEMS)
Nos sistemas de comunicação 5G e 6G, os materiais piezoelétricos de alto desempenho são essenciais para a fabricação de filtros FBAR e SAW, permitindo larguras de banda maiores e menores perdas de inserção.
3. MEMS acústicos (alto-falantes/microfones)
Aprimorando os alto-falantes MEMS com resposta transiente superior e níveis de pressão sonora (SPL), e simultaneamente aumentando a relação sinal-ruído (SNR) dos microfones MEMS para permitir a captura de áudio em alta definição.
4. Controle de fluidos de precisão (cabeças de impressão a jato de tinta)
Utilizando vibrações de alta velocidade no modo d31 para alcançar precisão em nível de nanolitros no controle do volume de gotas de tinta; serve como o principal componente de atuação para sistemas de impressão a jato de tinta de alta resolução e nível industrial.
5. Estética Médica e Microbombeamento
Acionando nebulizadores médicos e bombas ultrassônicas estéticas. Graças ao tamanho compacto e à alta confiabilidade dos filmes finos de PZT, possibilitamos a atomização eficiente e a administração precisa de medicamentos líquidos.
